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半导体行业

PP 半导体废水处理工程

PP 半导体废水处理工程——半导体湿制程使用高纯化学品,设备材料的金属析出与颗粒控制直接影响良率。 本方案针对半导体行业的氢氟酸(HF)、BOE、SPM(硫酸/双氧水)、APM(氨水/双氧水)等介质工况,提供从选型设计、防腐设备制造到现场安装调试的整体交付。

行业工况与挑战

  • 典型介质:氢氟酸(HF)、BOE、SPM(硫酸/双氧水)、APM(氨水/双氧水)
  • 运行温度:常温至 120℃(局部高温工序);需电子级高纯 PPH/PVDF,焊缝洁净、可通球试压
  • 合规要求:晶圆厂洁净规范与 ppb 级金属析出控制

方案构成

  • PP 调节池盖板、反应槽、中和槽与絮凝沉淀槽,按水量分级
  • PP 药剂储罐与计量加药系统(石灰 / PAC / PAM / 氯化钙)
  • 含氟废水两级化学沉淀 + 斜管沉淀,配套污泥脱水
  • PP 管路阀门与液位、pH 自动控制

工艺路线

调节均质 → pH 调整与化学沉淀 → 絮凝斜管沉淀 → 过滤后回用或达标排放;污泥压滤外运。

交付价值

  • 源头工厂直供,价格与交期可控,支持非标定制
  • PP-H / 高纯 PPH / PVDF 按介质与温度匹配,原料可追溯
  • 按晶圆厂洁净规范与 ppb 级金属析出控制设计制造,验收达标
  • 整线单一责任主体,长期质保与全国售后
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